磁性联轴器多用于在高真空、高洁净度、有毒、腐蚀性，或其它恶劣环境中将动力从主动轴传递给从动轴。由于采用了隔离密封套的形式，化动态密封为静态密封，从而可实现零泄露。它的一个重要应用是作为真空晶圆输送机器人动态密封技术的核心组件，因此，倍受半导体主流链机设备厂商的关注。磁性联轴器的优化设计，直接影响真空机器人的传动性能。
磁性联轴器由内、外轭铁和设置其上的瓦形磁体组成的内外磁转子以及内外磁转子间的气隙中设置的隔离套组成。磁力泵由电动机驱动外磁转子，外磁转子通过磁力作用带动与叶轮一体的内磁转子旋转，内外磁转子之间有隔离套隔开，从而实现了液体无泄漏输送，也就是说能量传递是通过磁性联轴器的磁场无接触实现的。

关键词：磁性联轴器